（1）窒息
MBE外延設備要在超高真空條件下工作，需要使用氮氣源吹掃置換；噴射爐的爐口需使用液氮進行屏蔽。在現場設置氮氣/液氮鋼瓶或者通過管道輸送氮氣/液氮，如果氮氣瓶安全附件不齊全或有缺陷，氮氣/液氮管道的閥門、零件等腐蝕或存在缺陷，可能發生氣瓶或管道的泄漏，如果作業場所通風不良，人員防護不當，會引發人員窒息事故。
（2）灼燙
MBE外延設備噴射爐的爐口需使用液氮進行屏蔽，在現場設置液氮鋼瓶或者通過管道輸送液氮，如果液氮鋼瓶/液氮管道的閥門、零件等腐蝕或存在缺陷，可能發生氣瓶或管道的泄漏，人員防護不當，發生低溫灼燙事故。
MBE外延設備屬于高溫設備，如果設備本身未采取防護隔離措施，人員防護不當，可能發生灼燙事故。
（3）爆炸（含容器爆炸）
該工藝需使用冷卻水進行設備保冷，如果冷卻水供應不足，在高溫下，可能發生設備爆炸。氮氣源使用氣瓶的情況下，氣瓶安全附件不齊全、氣瓶本體有缺陷、未設防倒設施等情況，可能造成氣瓶爆炸。
（4）觸電
直接接觸裸露帶電零件或在故障條件下變為帶電的零件，尤其是絕緣失效而導致的帶電零件，可能造成的電擊、電灼傷等危險。
